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Vibration analysis of stylus instrument for random surface measurement
  • ISSN号:0141-6359
  • 期刊名称:PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL
  • 时间:0
  • 页码:586-591
  • 语言:英文
  • 相关项目:纳米级微定位系统热误差辨识与补偿关键技术研究
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