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Cymbal型复合压电作动器 微进给
  • 期刊名称:单片机与嵌入式系统应用,12:52-54,2005,12
  • 时间:0
  • 相关项目:电荷反馈式压电陶瓷精密定位机构及非线性控制技术研究
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