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Development of three-dimensional profiler for large field micro-surface topography measurement
  • ISSN号：1673-1905
  • 期刊名称：《光电子快报：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：TH744.3[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械] O484.1[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构：[1]College of Precision Instrument and Optoelectronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China, [2]Key Laboratory of Optoelectronics Information and Technical Science, Ministry of Education, Tianjin 300072, China
  • 相关基金：This work has been supported by the National Natural Science Foundation of China （No.60577013） and New Teachers Doctoral Fund of Ministry of Education of China （200800561022）
作者： 张红霞[1,2], 张以谟[1,2], 井文才[1,2], 贾大功[1,2], 黄岑[1,2]
关键词： 表面形貌, 测量范围, 三维轮廓仪, 干涉显微镜, 甲基丙烯酸甲酯, 双光束干涉仪, 光纤连接器, 相移干涉
中文摘要：

E-mail： hxzhang@tju.edu.cn.

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期刊信息
  • 《光电子快报：英文版》
  • 主管单位:
  • 主办单位:天津理工大学
  • 主编：巴恩旭
  • 地址：天津市西青区宾水西道391号
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  • 邮箱：Oelett@yahoo.com.cn
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  • 国际标准刊号：ISSN：1673-1905
  • 国内统一刊号：ISSN：12-1370/TN
  • 邮发代号:6-198
  • 获奖情况:
  • 中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,英国科学文摘数据库
  • 被引量:147