位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
磁控溅射Cu膜表面形貌演化的多尺
  • 期刊名称：金属学报, 2007
  • 时间：0
  • 相关项目：基于小波分析的表面形态表征及其与薄膜体特征参量的关系
作者： 杨吉军 徐可为
同期刊论文项目
基于小波分析的表面形态表征及其与薄膜体特征参量的关系
期刊论文 25 会议论文 3
同项目期刊论文
Template-induced formation of
Activation volume and incipien
Dimension-induced structural s
Energy anisotropy of bimetal c
Size-dependent theoretical ten
Size-dependent structural phas
Cu-W薄膜表面形貌各向异性与相结
多晶柱状Cu膜表面粗化与织构
多晶薄膜表面粗化与生长方式转变
Size-dependent multilayer rela
Using dangling bond density to
多层膜晶界和膜界的竞比变形及其
Strain energy anisotropy in ge
Characterization of multiscale
Surface induced electron redis
生长初期Ta膜的表面动态演化行为
Surface morphology anisotropy
扩散阻挡层与离子束轰击能量对Cu-Cr合金膜结合强度的影响
退火Cu-W薄膜组织结构与残余应力
磁控溅射氮分压对Nb-Si-N薄膜结构和性能的影响
纳米多层膜塑性变形及其Hall—Petch表征
多层膜晶界和膜界间竞比变形及其对硬度测量的影响
多晶柱状Cu膜的表面粗化与织构