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扩散阻挡层与离子束轰击能量对Cu-Cr合金膜结合强度的影响
  • ISSN号：1672-7126
  • 期刊名称：《真空科学与技术学报》
  • 时间：0
  • 分类：TN305.93[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室,西安,710049 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州,730070
  • 相关基金：国家自然科学基金项目(No.50471035)和兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室开发基金资助(K040120)
作者： 宋忠孝[1], 鞠新华[1], 徐可为[1], 范多旺[1]
关键词： 扩散阻挡层, Cu-Cr合金膜, 离子束辅助沉积
中文摘要：

用离子束辅助磁控溅射和离子束溅射共沉积的方法分别在TiN、CrN扩散阻挡层上沉积了Cu-Cr合金膜.用滚动接触疲劳实验评价结合强度,结果发现:扩散阻挡层可明显提高结合强度;CrN上的Cu-Cr膜的结合强度最高;高能离子轰击得到的Cu-Cr合金膜具有更宽的过渡层而具有更高的结合强度.

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期刊信息
  • 《真空科学与技术学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国真空学会
  • 主编：李德杰
  • 地址：北京朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
  • 邮编：100022
  • 邮箱：cvs@chinesevacuum.com
  • 电话：010-58206280
  • 国际标准刊号：ISSN：1672-7126
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5177/TB
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:4421