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A novel flexure-based microgripper with double amplification mechanisms for micro/nano manipulation
  • ISSN号:0034-6748
  • 期刊名称:Review of Scientific Instruments
  • 时间:2013.8.8
  • 页码:-
  • 相关项目:具有压印力解耦功能的新型纳米压印平行对准系统关键技术研究
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