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ITO基底上ZnO薄膜的制备以及刻蚀图形的扫描电化学显微镜表征
  • 期刊名称:物理化学学报
  • 时间:0
  • 页码:2613-2617
  • 语言:中文
  • 分类:O646[理学—物理化学;理学—化学]
  • 作者机构:[1]福州大学化学化工学院,食品安全分析与检测教育部暨福建省重点实验室,福州350108, [2]福州大学分析测试中心,福州350002
  • 相关基金:国家自然科学基金(20873112 21073038)资助项目
  • 相关项目:半导体纳米线阵列结构的三维“软”加工方法的研究
中文摘要:

在氧化铟锡(ITO)导电玻璃的衬底上,利用直接电沉积方法制备了ZnO纳米线或ZnO薄膜.然后利用存储有HCI刻蚀剂的琼脂糖微图案印章对其进行了化学刻蚀以形成不同的图形.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和扫描电化学显微镜(SECM)分别对ITO衬底上的ZnO薄膜的结构、形貌和电化学性质进行表征.

英文摘要:

We report a direct electrochemical deposition process to produce ZnO nanorods or a ZnO thin film on an indium tin oxide(ITO) substrate.The ZnO film was etched by an agarose stamp containing HCI as the etchant to form different patterns.The structure,morphology,and electrochemical properties of the ZnO thin films on the ITO substrate were characterized by scanning electron microscopy(SEM),X-ray diffraction(XRD),and scanning electrochemical microscopy(SECM).

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