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The effect of soft bake on adhesion property between SU-8 photoresist and Ni substrate by molecular
  • ISSN号:0021-8995
  • 期刊名称:Journal of Applied Polymer Science
  • 时间:2013.3.3
  • 页码:4456-4462
  • 相关项目:活化与细密的微电铸层界面结合理论与控制方法
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