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Measuring in-plane and out-of-plane coupled motions of microstructures by stroboscopic microscopic i
ISSN号:0030-3992
期刊名称:Optics and Laser Technology
时间:0
页码:1176-1182
语言:英文
相关项目:基于频闪散射照明下数字散斑技术的MEMS运动特性测试方法
作者:
Hu, Chunguang|Guo, Tong|Chen, Zhi|Hu, Xiaodong|Hu, Xiaotang|
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