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Measuring in-plane and out-of-plane coupled motions of microstructures by stroboscopic microscopic i
  • ISSN号:0030-3992
  • 期刊名称:Optics and Laser Technology
  • 时间:0
  • 页码:1176-1182
  • 语言:英文
  • 相关项目:基于频闪散射照明下数字散斑技术的MEMS运动特性测试方法
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