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Property analysis of the rough slider bearings in micromotors for MEMS applications
  • 期刊名称:IEEE/ASME Transaction on Mechatronics
  • 时间:0
  • 页码:465-473
  • 语言:中文
  • 相关项目:参数激励静电驱动微机电系统(MEMS)的非线性振动与控制
作者: 张文明, 孟光|
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