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微转子系统径向气体轴承特性
  • ISSN号：0577-6686
  • 期刊名称：《机械工程学报》
  • 时间：0
  • 分类：TH16[机械工程—机械制造及自动化]
  • 作者机构：[1]National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology. Key Laboratory for Thin Films and Microtechnology of Ministry of Education, Research Institute of Micro/Nano Science and Technology, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030, P.R. China
  • 相关基金：Supported by the National Natural Science Foundation of China （No. 50575132）, Science and Technology Commission of Shanghai Mtmicipality （No. O5JC14061 ） and National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology Foundation （No. 9140C7903060706）
作者： 张文明[1], 孟光[1], 陈迪[2]
关键词： 机械加工, 聚乙烯乙二醇, 微纤维, 生产工艺, UV-LIGA, bulk silicon micro machining, 3D microfabrication, polyethylene terephtalate glycol （PETG）
中文摘要：

Jing Xiangmeag, born in 1980. Currently, he is a Ph. D candidate in Institute of Micro/nano Science and Technology, Shanghai Jiaotong University. He received his B.S. and M.S. degrees from Harbin Institute of Technology in 2002 and 2004 respectively. His research interests include the design and fabrication of MEMS devices, IC testing and microelectronic packaging. To whom correspondence shoed be addressed. E-mail： dchen@sjtu.edu.cn

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期刊信息
  • 《机械工程学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国机械工程学会
  • 主编：宋天虎
  • 地址：北京百万庄大街22号
  • 邮编：100037
  • 邮箱：bianbo@cjmenet.com
  • 电话：010-88379907
  • 国际标准刊号：ISSN：0577-6686
  • 国内统一刊号：ISSN：11-2187/TH
  • 邮发代号:2-362
  • 获奖情况:
  • 中国期刊奖,“中国期刊方阵”双高期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:58603