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Reduction of structural defects in a-plane GaN epitaxy by use of periodic hemispherical patterns in
  • ISSN号:1071-1023
  • 期刊名称:Journal of Vacuum Science and Technology B
  • 时间:0
  • 页码:021005-021005
  • 相关项目:非极性面高Al组分AlGaN基深紫外LED外延材料与器件的研究
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