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The monolithic integration system of bulk-Si sensors and actuators based on the Au-Au bonding techno
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies
  • 时间：2013
  • 页码：195-201
  • 相关项目：基于光斑位置敏感的风速传感器集成系统研究
作者： Cai, Chunhua|Qin, Ming|
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基于光斑位置敏感的风速传感器集成系统研究
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