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Subsurface defect of amorphous carbon film imaged by near field acoustic microscopy
  • ISSN号:0947-8396
  • 期刊名称:Applied Physics A-Materials Science & Processing
  • 时间:0
  • 页码:261-265
  • 语言:英文
  • 相关项目:高分辨率的扫描探针声显微镜
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