以Veeco DI 3100原子力显微镜和SPA400原子力显微镜为主体,研制成功两组高分辨率扫描探针声学显微镜(SPAM)系统,其压电响应力显微像(PFM)和SPAM像的分辨率分别达到9纳米和4纳米。建立了轻敲模式的试样表面弹性的相位成像机理。在接触模式中,提出了包含试样有效质量的质量-弹簧模型,得到了更完整的SPAM系统接触模式的频率响应,从理论和实验上证实接触模式的SPAM系统还存在一个低于探针谐振频率的探针- - 试样耦合谐振频率区域,解释了高灵敏的低频SPAM成像机理。开展SPAM成像参数研究;成功地实现了细胞、铁电单晶、纳米光栅、功能材料、纳米器件等的纳米尺度结构及物理性能的的高分辨力SPAM和PFM成像研究。已发表论文24篇(SCI收录12篇),英文专著1本,获授权和申请发明专利各一项。培养博士研究生4人,硕士研究生1人。主办了第二届中-韩无损评估国际学术会议。邀请10多位国外专家来访。应邀作了4次国际学术会议邀请报告,国际会议报告2篇,国内大会邀请报告5篇,国内学术会议报告7篇。
英文主题词Scanning Probe Acoustic Microscope; imaging mechanism; nanometer; cell; ferroelectric single crystal