位置:成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
物理冶金法多晶硅片磷吸杂工艺的优化
  • ISSN号:1001-5868
  • 期刊名称:半导体光电
  • 时间:2011.10.10
  • 页码:668-671
  • 分类:TM914.41[电气工程—电力电子与电力传动]
  • 作者机构:[1]厦门大学物理系,福建厦门361005, [2]厦门大学能源研究院,福建厦门361005, [3]厦门大学福建省半导体照明工程技术研究中心,福建厦门361005
  • 相关基金:国家自然科学基金项目(61076056); 福建省重大专项资助项目(2007HZ005-2)
  • 相关项目:物理冶金法晶体硅太阳电池光衰减现象的研究
中文摘要:

对物理冶金法提纯的低成本多晶硅材料进行了磷吸杂实验研究,结果表明,950℃下时吸杂4h去杂效果最好,对磷吸杂机理进行了定性的分析和讨论。把去除吸杂层与制备绒面工艺结合起来,达到较好的效果,节省了太阳电池制备的时间和成本。

英文摘要:

Phosphorus(P) gettering experiments were carried out to study multicrystalline silicon wafers purified by physical metallurgy method.It is found that the best results of P gettering was achieved at 950 ℃ for 4 hours.The mechanism for P gettering is analysed and discussed.Combined the texturing process with removing the gettering layer,a better result can be obtained,saveing time and cost for the fabrication of solar cells.

同期刊论文项目
期刊论文 14 会议论文 14 专利 3
同项目期刊论文
期刊信息
  • 《半导体光电》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第四十四研究所(重庆光电技术研究所)
  • 主编:江永清
  • 地址:重庆市南岸区南坪花园路14号
  • 邮编:400060
  • 邮箱:soe@163.net
  • 电话:023-65860286
  • 国际标准刊号:ISSN:1001-5868
  • 国内统一刊号:ISSN:50-1092/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 重庆市首届十佳期刊称号,1999年,信息产业部1999-2000年度优秀电子期刊称号
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:5924