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X射线在Au-SiO_2界面剂量增强系数与Au厚度关系的模拟研究
  • ISSN号:1000-3819
  • 期刊名称:《固体电子学研究与进展》
  • 时间:0
  • 分类:O434.1[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理] TN301[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]内蒙古民族大学物理与电子信息学院,内蒙古通辽028043
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(11265009);内蒙古民族大学科学研究基金资助项目(NMD1218)
中文摘要:

用蒙特卡罗(MonteCarlo)方法计算Au—SiOz界面的剂量增强系数(DEF)随能量的变化关系及不同厚度的Au对Au—SiOz界面剂量增强系数的影响。结果表明:界面下的DEF与Au的厚度有关,当Au厚度从1gm增加到9tam,DEF随之增大;当Au厚度超过9tam,随Au厚度增加DEF减小。当x射线能量为10~250keV时,界面附近SiO。一侧存在不同程度的剂量增强,而且在整个能量范围内出现了两个明显的峰值,其中剂量增强系数最大值达40.4。

英文摘要:

Using Monte Carlo method, calculated are the relationships between X-ray energy and dose enhancement factor(DEF) at gold-silicon dioxide interface, and the effect of the differ- ent gold thicknesses on the DEF at this interface. The results show that the DEF relates with the gold thickness. The DEF increases with the gold thickness, from 1 μm to 9 μm, and above 9 μm, the DEF decreases with gold thickness. When the X-ray energy ranges from 10 to 250 keV, there are interface dose enhancement in varying degrees with two distinct peaks and the maximum dose enhancement factor is 40.4.

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期刊信息
  • 《固体电子学研究与进展》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:南京电子器件研究所
  • 主编:杨乃彬
  • 地址:南京中山东路524号(南京160信箱43分箱)
  • 邮编:210016
  • 邮箱:gtdz@chinajournal.net.cn
  • 电话:025-86858161
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-3819
  • 国内统一刊号:ISSN:32-1110/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 中国期刊方阵双效期刊,江苏省第六届优秀期刊,工信部09-10年期刊编辑质量优秀奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:2461