中国工程物理研究院Z箍缩实验装置(PTS)的单路样机采用Marx发生器作为初级储能系统,标称电压为6MV。分析了6MVMarx发生器中任意位置的前级开关导通后,因为杂散、耦合电容的作用,后级开关将耐受约3.5倍的充电电压,对开关导通产生影响;并给出了Marx发生器的简化电路模型和包含杂散电容的电路模型,通过计算结果与实测波形的对比分析,认为杂散电容对发生器输出电压的上升前沿有一定的影响。