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基于微元件键合图库的微机电系统动态建模与仿真
  • 期刊名称：西安交通大学学报
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者所属机构：西安交通大学
  • 页码：Vol.39, No.7,pp744-748
  • 语言：中文
  • 相关项目：DFX驱动的微器件e-CAD工具的研究
作者： 刘旸、江平宇、刘铮|
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