以微器件CAD技术为研究对象,本项目从基于Web的集成框架、DFX驱动的并行设计方法学、多能量域性能分析与评价、基于微加工工艺规划的可制造性分析与评价等四个方面进行研究,并拟解决MEMS产业化过程中的设计瓶颈问题。可以预计,该项目的成功实施会对微器件CAD技术的深化应用起指导、示范作用,且具有理论与实践两方面的意义。
英文主题词Micro-Components;Concurrent Design;DFX Evaluation