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MEMS微器件用CoNiMnP永磁体薄膜
  • 期刊名称：功能材料，2006，37（11），1719～1722
  • 时间：0
  • 相关项目：新型集成双稳态MEMS微电磁驱动器的理论与实验研究
作者： 汪红，苏宇峰，丁桂甫，戴旭涵
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