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Diagnosis of gas phase near the substrate surface in diamond film deposition by high-power DC arc plasma jet CVD
  • ISSN号：1006-852X
  • 期刊名称：《金刚石与磨料磨具工程》
  • 时间：0
  • 分类：TF066.31[冶金工程—冶金物理化学]
  • 作者机构：[1]Materials Science and Engineering School, University of Science and Technology B eijing, Beijing 100083, China, [2]Metallurgical and Ecological Engineering School, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China
  • 相关基金：This study was financially supported by the National High-Tech Research and Development Program of China （No.2002AA305508）,the National Natural Science Foundation of China （No.50472095）, the Scientific Research Foundation for the Returned 0verseas Chinese Scholars （No.2003-14）, and Beijing Novel Project （No. 2003A13）. Scholars （No.2003-14）, and Beijing Novel Project （No. 2003A13）.
作者： Zuyuan Zhou[1], Guangchao Chen[1], Bin Li[1], Weizhong Tang[1], Fanxiu Lv[2]
关键词： 烟气相位, 金刚石薄膜, 光谱学发射, 基底表面, gas phase, diamond film, optical emission spectroscopy, substrate surface, high power DC arc plasma jet chemical vapor deposition
中文摘要：

Guangchao Chen, E-mail： guangchaochen@mater.ustb.edu.cn

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期刊信息
  • 《金刚石与磨料磨具工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:郑州磨料磨具磨削研究所
  • 主办单位:郑州磨料磨具磨削研究所
  • 主编：李志宏
  • 地址：郑州市高新区梧桐街121号
  • 邮编：450001
  • 邮箱：smzzgj@126.com
  • 电话：0371-67661785
  • 国际标准刊号：ISSN：1006-852X
  • 国内统一刊号：ISSN：41-1243/TG
  • 邮发代号:36-34
  • 获奖情况:
  • 1997年获国家科技期刊奖三等奖,1999年2000年获河南省优秀科技期刊二等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）
  • 被引量:4050