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近场热辐射实验测量方法的进展
  • ISSN号:1005-023X
  • 期刊名称:《材料导报》
  • 时间:0
  • 分类:O4-1[理学—物理]
  • 作者机构:[1]大连理工大学电子科学与技术学院,大连116023
  • 相关基金:国家自然科学基金(60806038;61131004)
中文摘要:

总结了实验测量近场辐射传热的相关研究,指出对这种传热方式的实验测量中,利用当前的扫描探针技术控制两薄膜间距为微米级或纳米级并且保持相互平行是极其困难的,提出了结合cMOS(互补金属氧化物半导体)和MEMS(微机电系统)微加工工艺构造具有固定间隙平行薄膜结构的新思路。

英文摘要:

Based on studying almost all papers about experimental measurement of the near-field thermal radia- tive heat transfer, the difficulties on experimentally measuring near-field radiative heat transfer between thin-films are figured out by using the scanning probe technology, and a novel idea is given that fabricates parallel thin-films with fixed submicron gap by CMOS and MEMS technology.

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期刊信息
  • 《材料导报:纳米与新材料专辑》
  • 主管单位:重庆西南信息有限公司(原科技部西南信息中心)
  • 主办单位:重庆西南信息有限公司(原科技部西南信息中心)
  • 主编:
  • 地址:重庆市渝北区洪湖西路18号
  • 邮编:401121
  • 邮箱:matreved@163.com
  • 电话:023-67398525
  • 国际标准刊号:ISSN:1005-023X
  • 国内统一刊号:ISSN:50-1078/TB
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  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:3397