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脉冲射频/40kV高压直接耦合等离子体离子注入电源系统研制
  • ISSN号：1672-7126
  • 期刊名称：真空科学与技术学报
  • 时间：0
  • 页码：357-361
  • 相关项目：基于独立微等离子体内源的细长管内壁离子注入新技术及其机理研究
作者： 巩春志|田修波|朱宗涛|杨士勤|
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期刊论文 20
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期刊信息
  • 《真空科学与技术学报》
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  • 国际标准刊号：ISSN：1672-7126
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5177/TB
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  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:4421