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p-Si薄膜生长的ECR-CVD等离子体系统的结构设计
  • ISSN号：1007-2780
  • 期刊名称：《液晶与显示》
  • 时间：0
  • 分类：TN305[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033, [2]吉林大学材料科学与工程学院，吉林长春130023, [3]吉林大学物理学院教学中心，吉林长春130022, [4]吉林大学电子科学与工程学院，吉林长春130023
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(No.19974046,59973020,60277033);吉林省科委基金资助项目(No.20010579,20020603)
作者： 殷景志[1], 龙北红[2], 邵丽梅[3], 阮圣平[4], 胡立发[1], 刘永刚[1], 宣丽[1]
关键词： 电子回旋共振, 微波等离子体, p-Si薄膜
中文摘要：

提出了一种生长p-Si薄膜的ECR-PECVD等离子体系统。系统采用永磁铁和线圈相结合，改善反应室磁场的均匀性；微波窗口设计成多层结构．避免窗口污染；衬底托架移动和旋转利于改善生长膜的均匀性。

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期刊信息
  • 《液晶与显示》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国光学光电子行业协会液晶分会 中国物理学会液晶分会
  • 主编：郭海成
  • 地址：长春市东南湖大路3888号
  • 邮编：130033
  • 邮箱：yjxs@ciomp.ac.cn
  • 电话：0431-86176059
  • 国际标准刊号：ISSN：1007-2780
  • 国内统一刊号：ISSN：22-1259/O4
  • 邮发代号:12-203
  • 获奖情况:
  • 中国科学论文统计源期刊,中国科学引文数据库来源期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:5470