LTCC 技术是实现射频无源集成的有效方式与研究热点,是无源器件技术与封装技术的重要发展方向。如何对构成无源集成模块的电感、电容等元件的物理结构与电性能参数进行准确的描述是实现这一目标的基本设计问题。本项目经过三年的研究,首先建立了LTCC中的无源电感与电容元件的射频T等效电路模型,准确地描述了无源元件分布参数的影响,有效地提高了L、C元件等效电路模型的工作频率;根据LTCC制备工艺与结构模型,通过ADS、HFSS等软件仿真以及大量的验证实验,对电感L、电容C元件的设计模型与等效电路模型进行了设计与实验验证,以优化元件的射频模型化等效电路设计方案;在实验验证中配合对器件的微观分析与材料性能分析,研究影响元件性能的原因,以消除工艺因素的影响,达到实验验证的目的;通过模型仿真与器件验证实验的结果分析,得到了射频LTCC集成电感与电容元件的最佳特性设计方案,并建立了相关模型库;在此基础上,进行了大量的无源集成设计的应用验证与拓展工作,如LTCC集成射频滤波器(低通、带通)、集成射频双工器等的设计验证实验,取得了很好的设计与实验结果,完成全部研究任务。
英文主题词LTCC;RF passive integrated;passive component;modelization