利用直流磁控溅射及晶化方法,制备在低场下具有高灵敏度的纳米晶交换耦合磁致伸缩薄膜,并利用微磁学理论研究纳米交换耦合对材料磁弹性能的影响,为低场敏感磁致伸缩材料的设计提供理论基础,为材料的制备开辟新的途径,为MEMS用机电转化、耦合结构提供重要的材料支撑。
英文主题词TbFe magnetostrictive films; nano-crystalline exchange coupling; micro-magnetics; sensitivity