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　大气压等离子体辅助原子层沉积中等离子体参数诊断及作用机制研究
  • 项目名称：　大气压等离子体辅助原子层沉积中等离子体参数诊断及作用机制研究
  • 批准号：KZ201510015014
  • 项目来源：2015年度北京市教委科研计划项目
  • 研究期限：2015-02-
  • 项目负责人：陈强
  • 依托单位：北京印刷学院
  • 批准年度：2015
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 7
  • 0
  • 0
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期刊论文
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低磁场下驻波对螺旋波等离子体均匀性的影响
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期刊论文 14
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期刊论文 4
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期刊论文 20 会议论文 23 著作 1
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期刊论文 27 会议论文 20
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