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　半导体芯片制造中自动化组合设备(ClusterTool)的自适应实时运行控制研究
  • 项目名称：　半导体芯片制造中自动化组合设备(ClusterTool)的自适应实时运行控制研究
  • 批准号：20094420110002
  • 项目来源：高等学校博士学科点专项科研基金联合资助类课题
  • 研究期限：2010-03-
  • 项目负责人：伍乃骐
  • 依托单位：广东工业大学
  • 批准年度：0
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 4
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期刊论文
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