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　基于多孔硅的CMOS兼容体硅MEMS集成制造技术研究
  • 项目名称：　基于多孔硅的CMOS兼容体硅MEMS集成制造技术研究
  • 批准号：2006AA04Z312
  • 项目来源：“十一五”国家高技术研究发展计划(863计划)先进制造技术领域2006年度专题课题
  • 研究期限：2006-11-
  • 项目负责人：焦继伟
  • 依托单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 批准年度：2006
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 4
  • 0
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期刊论文
Observation of a diverse deviation from macropore-formation theory in silicon electrochemistry
基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺
Fast pore etching on high resistivity n-type silicon via photoelectrochemistry
On the origin of dissimilar pore evolution on patterned and unpatterned （100） n-type silicon
焦继伟的项目
基于简并－解并原理的自参比高灵敏度生化检测微陀螺
期刊论文 11 会议论文 1
硅基宏孔光辅助电化学快速腐蚀机理研究
期刊论文 5 会议论文 3