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　等离子体辅助原子层沉积铜籽晶层及其沉积机理研究
  • 项目名称：　等离子体辅助原子层沉积铜籽晶层及其沉积机理研究
  • 批准号：4162024
  • 项目来源：2016年度北京市自然科学基金项目
  • 研究期限：2016-01-
  • 项目负责人：刘忠伟
  • 依托单位：北京印刷学院
  • 批准年度：2016
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 6
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期刊论文
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