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精密光学制造的中高频误差分析与控制
  • 项目名称：精密光学制造的中高频误差分析与控制
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：50775215
  • 申请代码：E050903
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2008-01-01-2010-12-31
  • 项目负责人：戴一帆
  • 负责人职称：教授
  • 依托单位：中国人民解放军国防科学技术大学
  • 批准年度：2007
中文摘要：

现代光学技术的发展，要求精密光学零件的加工不但要很好控制表面形状和粗糙度误差，而且要严格控制中高频成份的误差。本项目在多年研究确定性研抛技术的基础上，首先研究了光学元件表面的中高频误差的分析评价方法，其次研究了确定性抛光过程的中高频误差产生原因和机理，最后研究了不同工艺的中高频误差控制策略以及组合的优化控制工艺。针对CCOS工艺，研究了不同的抛光盘运动方式，研究表明采用平动方式可以较好地消除或抑制确定性抛光的中高频误差；针对MRF工艺，研究了加工路径对中高频误差的抑制作用，并提出了基于熵增原理的局部随机加工路径，试验表明该法可以有效抑制MRF工艺中的中高频误差产生；针对IBF工艺，研究了定位误差等因素对加工残差的影响，并提出了基于加工过程的误差辨识及补偿方法，试验表明该法可以有效消除定位误差等因素引入的中高频误差。通过本项目的研究，形成了以CCOS、MRF和IBF三种工艺组合的超精密光学元件加工的优化工艺路线，试验表明采用该组合工艺路线可以有效抑制光学元件表明的中高频误差，加工出超高精度的光学元件，目前加工出的超精密光学元件最高精度已达到4.7nm。

中文主题词： 中高频误差，抛光，光学加工，磁流变抛光，离子束抛光
结论摘要：

英文主题词mid-high frequency spatial errors; polishing; optical fabrication; MRF; IBF

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 31
  • 2
  • 9
  • 0
  • 0
期刊论文
光学镜面磁流变抛光的后置处理
Calibration and prediction of removal function in magnetorheological finishing
Post processing for magnetorheological finishing of optical mirrors
Optimum removal in ion-beam figuring
Restraint of tool path ripple based on surface error distribution and process parameters in determin
Deterministic figuring in optical machining by magnetorheological finishing
Influence of the fabrication error in IBF on the scattering loss
A novel path used in computer-controlled polishing process based on uniform-area-increment spiral
Research on process optimization of magnetorheological finishing basing on predictive model of remov
Influence of mid-and-high frequency errors in optical processing on fractional encircled energy
Magnetorheological finishing for high-precision optical surface
Realization of velocity mode in flat optics machining using ion beam
Algorithm and implementation of magnetorheological finishing with spiral scan mode
Dwell time algorithm based on vector for MRF process of optics
Influence of mid-and-high frequency errors from optical processing on ratio of scattering loss
Frequency-domain analysis of computer-controlled optical surfacing processes
Restraint of mid-spatial frequency error in magneto-rheological finishing (MRF) process by maximum e
Study on the mechanism and arts of magnetorheological finishing (MRF) by nano-sized diamond abrasive
离子束修形技术
Deterministic figuring in optical machining by ion beam
Experimental research on super-smooth polishing process of typical silicon carbide materials
Polishing parameters of magnetorheological finishing for high-precision optical surfaces
磁流变抛光过程的材料去除三维模型
确定性磁射流抛光技术
光学平面镜面离子束修形中速度模式的实现
磁流变抛光消除磨削亚表面损伤层新工艺
光学加工中高频误差对散射损失比的影响
会议论文
Influence of optical surface error on scattering loss of optical mirror
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专利
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可长时稳定抛光液性能的磁流变抛光液循环装置
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能修除光学元件局部误差的离子束极轴加工方法
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