在Si(100)衬底上制备出Al掺杂的外延生长的SiC薄膜。该薄膜厚度为473 nm,磁性测试显示其具有室温铁磁性。制备了平均尺寸为126 nm的Mn掺杂3C-SiC纳米颗粒。拉曼散射研究结果表明Mn掺杂后,SiC的光学支纵波和横波均向低波数移动,拉曼峰的半高宽增加。扩展X射线吸收精细结构表明掺杂的Mn原子代替了3C-SiC中C的位置。SiC纳米颗粒具有本征室温铁磁性。在Mn掺杂,缺陷,磁束缚激子模型,未补偿表面自旋等因素的联合作用下产生了铁磁性。制备出了Mn掺杂的单晶3C-SiC纳米线,纳米线直径从30到200 nm,长度为几十微米。高分辨电镜和选区电子衍射结果表明Mn进入了SiC晶格,并且纳米线沿着(111)方向生长。纳米线具有室温铁磁性,铁磁性可能起源于Mn掺杂和缺陷的协同作用以及纳米线的表面各向异性。研究了N离子注入对6H-SiC单晶结构与磁性的影响,N注入后空位型缺陷浓度显著增加。未注入的SiC单晶显示抗磁性,离子注入后显示弱铁磁性。第一性原理计算研究表明Mn掺杂SiC会产生铁磁性,其磁性主要来自于Mn原子3d电子的自旋极化。
英文主题词SiC;doping;ferromagnetism;film;nano