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中文摘要：
本课题拟通过有机前驱体热解工艺，实现低维纳米结构的n和p型周期性掺杂，构筑SiC低维纳米超晶格材料；并结合光刻技术设计和制备SiC低维纳米超晶格阵列，实现超晶格在纳米/微米尺度下的组装；检测和优化SiC低维纳米超晶格的电学特性，分析和评价电子与空穴在超晶格中的输运特性，揭示电学特性与超晶格结构之间的相互关系。本项目是大量研究积累基础上的延伸和拓展，也是课题组长远研究目标的重要部分。项目的实施将丰富和发展纳米科技的理论研究，同时为半导体纳米器件的研发提供一定的基础数据和关键技术。
结论摘要：
英文主题词Polymer Precurosrs; Pyrolysis; SiC; Superlattices; Electrical Properties
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