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　MEMS系统级设计方法及与IC设计接口研究
  • 项目名称：　MEMS系统级设计方法及与IC设计接口研究
  • 批准号：2006AA04Z302
  • 项目来源：“十一五”国家高技术研究发展计划(863计划)先进制造技术领域2006年度专题课题
  • 研究期限：2006-11-
  • 项目负责人：李伟华
  • 依托单位：东南大学
  • 批准年度：2006
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 4
  • 0
  • 0
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  • 0
期刊论文
衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in机理分析
静磁微执行器模型研究进展
多晶硅薄膜热膨胀系数的电测试结构
静电驱动蝴蝶结状双端固支梁的节点分析法
李伟华的项目