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静磁微执行器模型研究进展
  • ISSN号:1003-353X
  • 期刊名称:半导体技术
  • 时间:0
  • 页码:692-696
  • 语言:中文
  • 分类:TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 作者机构:[1]南京邮电大学电子科学与工程学院,南京210003, [2]东南大学MEMS教育部重点买验室,南京210096
  • 相关基金:国家“863”计划项目(2006AA04z302);国家自然科学基金项目(60806036);江苏省高校自然科学研究计划资助项目(08KJB510014)
  • 相关项目:大努森数下微机械谐振器及滤波器的滑动膜分子阻尼模型
中文摘要:

磁驱动微执行器是一种重要的微执行器。与静电驱动相比,磁驱动具有一些无可替代的优点。静磁驱动是磁驱动方式中重要的一种,具有广阔的应用前景。综述了国内外静磁微执行器模型的最新进展,分析了各类模型的优缺点,特别强调了在微观领域,不能通过简单的电-磁类比得到相应的磁微执行器的各类模型。讨论了磁微执行器的各种典型的pull-in模型。这些模型对磁微执行器的设计、分析与优化具有重要的参考和实用价值。

英文摘要:

Magneto-microactuator is one of the most important microactuators. Magneto-microactuators have many advantages than electrostatic microactuators. Magnetostatic microactuator is one type of magneto-microactuators and is widely used. So magnetostatic actuators are currently drawing much attention. But the magneto-microactuators models cannot be derived just through simple similar models to the electrostatic microactuators. Many kinds of lumped-parameter models and distributed-parameter models were introduced. The pull-in principle and developments of all kinds of classical magneto-microactuators are also introduced. It can be a very useful reference to the designer of magneto-microactuators.

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期刊信息
  • 《半导体技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 主编:赵小玲
  • 地址:石家庄179信箱46分箱
  • 邮编:050051
  • 邮箱:informax@heinfo.net
  • 电话:0311-87091339
  • 国际标准刊号:ISSN:1003-353X
  • 国内统一刊号:ISSN:13-1109/TN
  • 邮发代号:18-65
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,中国科技论文统计用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:6070