中文摘要：

近年来，太赫兹(THz)技术和微机电系统（MEMS）技术得到了迅速发展和广泛应用，本项目拟将二者结合、重点研究太赫兹波段的MEMS三维无源器件设计理论和方法。基于MEMS微加工技术制作能够产生表面等离子体的周期性金属结构，通过对不同SPR周期性金属结构特性及其在THz波段的滤波性能进行深入理论和实验研究，实现0.1-1.0THz波段的滤波器，并创新性地采用可动MEMS驱动器来实现可调谐，获得小尺寸、可调谐、性能稳定的THz滤波器。研究涉及太赫兹波段的MEMS三维无源器件的设计理论和微加工方法，研发广泛适用的THz波段滤波器的标准微加工工艺。研究成果将促进MEMS技术在THz技术领域的应用，并为拓展THz相关技术的应用范围奠定基础。

结论摘要：

近年来，太赫兹(THz)技术和微机电系统（MEMS）技术得到了迅速发展和广泛应用，本项目拟将二者结合、重点研究太赫兹波段的MEMS 三维无源器件设计理论和方法。基于MEMS微加工技术制作能够产生表面等离子体的周期性金属结构，通过对不同 SPR周期性金属结构特性及其在 THz 波段的滤波性能进行深入理论和实验研究，实现0.1-1.0 THz 波段的滤波器，并创新性地提出了两种动态调制方案基于梳齿结构的电驱动和NiTi形状记忆材料的热驱动来实现可调谐，获得小尺寸、可调谐、性能稳定的THz滤波器。研究涉及太赫兹波段的 MEMS 三维无源器件的设计理论和微加工方法，研究广泛适用的THz波段滤波器的标准微加工工艺。本项目研究成果将促进MEMS 技术在THz 技术领域的应用，并为拓展THz相关技术的应用范围奠定基础。截止目前为止发表各类中英文文章10篇，其中国际期刊2篇，国内期刊4篇，国际会议4篇；所有文章被SCI收录3篇；EI收录1篇；申请专利2项目,获得授权专利1项；培养博士生1人，硕士生1人，目前在读博士生1人，硕士生1人。圆满完成了项目各项要求。