薄膜型三氧化二铝基气敏材料及传感器研究-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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薄膜型三氧化二铝基气敏材料及传感器研究

项目名称：薄膜型三氧化二铝基气敏材料及传感器研究
项目类别：面上项目
批准号：50172032
申请代码：E0204
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2002-01-01-2004-12-01

项目负责人：余萍
负责人职称：副教授
依托单位：四川大学
批准年度：2001

中文摘要：

半导体陶瓷气体传感器是应用量大面广的基础器件。本组发明了拥有自主知识产权的Al2O3沾善舨牧咸逑岛托滦推羝骷峁梗兄屏硕嘀中阅苡帕嫉钠舸衅鳌１鞠钅坷媒ι洹⑷芙?凝胶等技术研制薄膜型Al2O3基气敏材料和功耗低、一致性好、驰豫时间短的气羝骷叩湫偷脑赐反葱滦停徊教岣卟牧虾推骷阅埽刮夜孟钛芯烤庸是傲小

中文主题词：气敏材料，气敏传感器，薄膜传感器，三氧化二铝薄膜

结论摘要：

英文主题词gas sensing materials, gas sensors, gas sensing thin film,Al2O3-based sensing film

成果综合统计