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硅基微结构掺杂复合氧化物气敏传感器薄膜的研究
  • 项目名称：硅基微结构掺杂复合氧化物气敏传感器薄膜的研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：10874140
  • 申请代码：A040106
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2009-01-01-2011-12-31
  • 项目负责人：马书懿
  • 负责人职称：教授
  • 依托单位：西北师范大学
  • 批准年度：2008
中文摘要：

为了提高气敏材料对甲烷和CO气体的选择性及敏感材料的长期热稳定性等气敏性能，满足对传感器体积小、功耗低、一致性好、集成化等方面的要求，本项目拟采用多靶交替溅射和复合靶共溅射技术在Si基底上生长微结构掺杂复合氧化物薄膜气敏材料，通过磁控溅射参数优化及复合氧化物的组分控制来提高敏感薄膜的气敏性能。采用XRD、AFM、TEM、XPS 等手段测定微结构掺杂复合氧化物气敏材料的成分、结构、尺寸及形貌等材料性质，系统探索气敏薄膜的材料性质对薄膜气敏特性的影响。通过研究气敏材料离子存储层和离子导电层等相关膜层的微观结构、化学组分及它们之间的界面状态对气敏性能的影响，深入探究Si基微结构掺杂复合氧化物气敏材料与甲烷和CO气体的反应机理。同时，利用涨落增强化学传感模式来提高传感器的灵敏度。以期成功制备对甲烷和CO稳定性好、选择性高、与微电子工艺兼容的气敏传感器。达到对易燃、易爆和有毒气体进行及时地成功检测。

中文主题词： 硅基微结构；射频磁控溅射；气敏传感器；甲烷；CO气体
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 39
  • 5
  • 0
  • 2
  • 0
期刊论文
Structural and photoluminescence properties of Al-doped ZnO films deposited on Si substrate
A comparative study of the microstructures and optical properties of Cu- and Ag-doped ZnO thin films
The Al-doping and post-annealing treatment effects on the structural and optical properties of ZnO:A
Structural and optical properties of ZnO:Mg thin ?lms grown under differentoxygen partial pressures
X-ray diffraction spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy studies of Cu-doped ZnO films
Influence of Al-doping on the structure and optical properties of ZnO films
温度对传感器气敏材料电阻的影响研究
Al掺杂ZnO薄膜的微结构及光学特性研究
SiC/ ZnO/ Si镶嵌结构的光致发光研究
Zn缓冲层对氧化锌薄膜的结构和光学特性的影响
Y2 Ba1 Cu1O5- δ掺杂对Y1 Ba2 Cu3O7- δ的超导电性及其晶格结构的影响
纳米ZnO/SiO2薄膜的光学特性研究
光照因素在光热退火法制备多晶硅中的影响分析
薄膜结构对 Si/ SiO2 I-V 特性的影响
锗/氧化硅和碳/氧化硅薄膜电致发光的比较研究
ZnO缓冲层厚度对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响
Effects of the oxygen partial pressure and annealing atmospheres on the microstructures and optical
Effect of the oxygen partial pressure on the microstructure and optical properties of ZnO:Cu films
Violet and blue-green luminescence from Ti-doped ZnO films deposited by RF reactive magnetron sputt
Microstructure and optical properties of ZnO:Al ?lms prepared by radio frequency reactive magnetron
Microstructures and optical properties of Cu-doped ZnO films prepared by radio frequency reactive ma
Effects of the substrate and oxygen partial pressure on the microstructures and optical properties o
Effect of substrate and annealing on the structural and optical properties of ZnO:Al films
Microstructure and optical properties of ZnO/porous silicon nanocomposite films
PVP Zn（Ac）2复合纳米纤维的制备及其参数优化
Ti掺杂ZnO纳米薄膜的微结构/生长取向程度及其光致发光特性研究
退火温度对同质缓冲层ZnO薄膜微观结构和光学特性的影响
TiO_2缓冲层的退火气氛对ZnO薄膜微结构和光学性能的影响
薄膜结构对Si／SiO2 I-V特性的影响
氧化锌薄膜的制备技术
纳米ZnO镶嵌SiO2薄膜的光学特性研究
Fe的不同掺杂量对ZnO薄膜光致发光的影响
磁控溅射法制备Zn1-xFexO薄膜的微结构及铁磁性研究
Cu掺杂浓度对ZnO/PS纳米复合体系光学性能的影响
Cu掺杂对ZnO纳米薄膜的结构及其光学特性的影响
衬底和氧分压对Cu掺杂ZnO薄膜的结构及光学特性的影响
不同缓冲层对 ZnO薄膜的性能影响
ZnO缓冲层上低温生长Al掺杂的ZnO薄膜
生长ZnO薄膜的氧分压对ZnO/PS体系光学性能的影响
会议论文
Detecting CH4 and CO gases Using Micro-Structural Doping Compound Oxide Films on Si-Substrates
Design of Automatic System for Multiple-Gas Sensing
the Effect of microstructure on I-V properties in Si/SiO2 film
Influence of Al-doping and oxygen partial pressure on the optical properties of ZnO films
Microstructures and Optical Absorption of Ti-doped ZnO Films
获奖
2010年入选甘肃省“领军人才”
2010年入选甘肃省“领军人才”
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