二维半导体光子晶体微腔面发射激光器-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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二维半导体光子晶体微腔面发射激光器

项目名称：二维半导体光子晶体微腔面发射激光器
项目类别：面上项目
批准号：60377011
申请代码：F050201
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2004-01-01-2006-12-31

项目负责人：陈弘达
负责人职称：研究员
依托单位：中国科学院半导体研究所
批准年度：2003

中文摘要：

光子晶体是目前光电子学领域的前沿课题。本课题主要开展以下研究内容熟悉数值模拟的模型和方法，自主建立理论模型，编写数值分析程序，模拟激光器的光场和模式特性等。设计光子晶体的晶格结构和微腔，结合数值模拟对器件结构进行优化和简化，设计出具有单模、低阈值、高品质因子等优异特性的面发射激光器。在国内条件的基础上制作出光子晶体结构的薄膜和微腔结构。组织测试系统，对该器件进行测试，实现器件的室温光致发光，并探

中文主题词：光子晶体；微腔；面发射激光器；时域有限差分

英文摘要：

photonic crystal; microcavity;

英文主题词： photonic crystal; microcavity;

结论摘要：

光子晶体是目前光电子学领域的前沿课题，本课题主要研究了以下内容光子晶体模型和数值模拟方法，自主建立理论模型，编写数值分析程序，模拟激光器光场和模式特性等。设计了多种晶格结构的光子晶体微腔，结合数值模拟对器件结构进行优化，摸索并完成了GaAs基光子晶体面发射激光器的前后工艺，包括光刻、干法和湿法腐蚀、湿氧化等关键工艺，研制出了多种850nm波段的、具有单模、低阈值、高品质因子等优异特性的光子晶体面发射激光器。在现有条件的基础上制作出光子晶体结构的微腔，最终实现了器件的室温光致发光，及连续电注入的多种参数的光子晶体结构的GaAs基垂直腔面发射激光器的激射。还利用在微区测试装置和测试方法上的经验优势，结合微小光子晶体测试特点搭建了测试系统，实现了适合于近红外波段光子晶体激光器的特性测试。在此课题完成过程中，共发表论文27篇，其中SCI收录6篇，EI收录8篇；申请发明专利3项，大大超额完成了课题任务的要求。本课题跟踪国际前沿，研究实现半导体光子晶体器件的方法，对于提高国内光子晶体微腔半导体激光器的研究水平，加快具有低阈值、高品质因子和纳米尺寸的半导体激光器的研究与应用具有重要意义。

成果综合统计