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中文摘要：
本课题将研究纳米光电子器件制备过程中器件的光学性质，研究适用于真空环境的快速光谱检测和分析的原理和方法，有效解决全光谱检测、速度和高光谱分辩之间的矛盾，掌握核心技术，获得光子器件制备过程中折射率，反射、透射、带宽、膜厚等参数随工艺条件的光信息变化，提高器件质量，研究成果将显著提高我国高性能光电子器件和技术的研究水平。
结论摘要：
英文主题词nano-resolution, multiple gratings, optical spectrum
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