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等离子体刻蚀过程的计算机模拟
  • 项目名称：等离子体刻蚀过程的计算机模拟
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：19975008
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：王友年
  • 依托单位：大连理工大学
  • 批准年度：1999
王友年的项目
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