人工亚波长金属微结构增强红外探测器的光电耦合是国内外研究的热点。近红外偏振探测在空间探测领域具有巨大应用前景。本项目基于近红外探测目标的独特光谱特性和偏振特性,以及铟镓砷(InGaAs)探测器在近红外波段优异的光电性能,创新性的提出了一种亚波长金属人工结构单片集成的近红外InGaAs探测器新结构。采用严格耦合波理论,研究亚波长金属人工结构的近红外偏振特性;构建集成微偏振光栅器件的物理模型,结合不同的光栅结构参数,揭示亚波长金属人工结构和近红外InGaAs探测器集成的光电耦合机理,为偏振探测器结构设计与优化提供理论基础;开展亚波长金属人工结构和近红外InGaAs探测器片上集成的关键技术基础研究,弄清亚波长金属人工结构和探测器集成的界面微观特性,实现亚波长金属人工结构和近红外InGaAs探测器的工艺兼容方法的集成创新,获得近红外偏振原型探测器,为我国近红外偏振成像关键元器
英文主题词near-infrared;InGaAs;metal artificial structure;polarization;optoelectronic coupling