中文摘要：

全波段室温型高性能探测器是当今的研究热点之一，在卫星红外地平仪、地球辐射探测仪上有重要应用。现有的MnCoNi氧化物（MnCoNi）陶瓷体材料探测器件在性能可靠性、使用寿命等方面存在着不足，本项目的完成突破了MnCoNi 材料的传统高温烧结制备方法，采用湿化学方法在较低的温度范围内生长均匀、致密、稳定、高TCR 值的锰钴镍薄膜，发明了与硅工艺兼容的薄膜制备方法，生长出大面积性能优良的锰钴镍薄膜。并研究了MnCoNi薄膜的光学、电学、磁学等物理特性，及性能与其微结构之间的内在联系。美国《Applied Physics Letters》的评审专家认为我们有关MnCoNi薄膜的工作是在热敏薄膜和红外探测器件领域取得的很大进展。优化了薄膜的制备工艺，制备出性能可靠、稳定、长寿命的单元薄膜型探测器件，探测率、时间常数等指标都达到了航空航天器件的要求，并为制备室温焦平面列阵打下基础。现项目组已与中国科学院上海技术物理研究所相关部门签订了"FY-3地球辐射探测仪薄膜型热敏探测器的任务书"，项目已从基础研究走向工程应用，满足国家的重大需求。该项目的实现对我国新一代的高性能探测器的发展具有重要意义。