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中文摘要：
总结了目前对超声电机在真空环境下和高/低温环境下超声电机性能研究的主要成果。利用真空环境电机性能测量系统，对超声电机进行一系列试验研究，并分析预压力、温升、声悬浮等因素对其的影响。建立测量高/低温环境下超声电机性能测量系统，对TRUM-60超声电机进行高/低温环境试验。归纳了TRUM-60超声电机在不同温度下的机械特性，通过分析温度对超声电机定子弹性体性能的影响，温度对压电陶瓷材料的压电谐振频率、介电常数和介电损耗及本项目针对我国航天工程（如登月车）和半导体制造业，探索该种电机的设计、制造和试验中的基础性问题，包括建立基本的环境试验系统；对普通型超声电机进行试验和分析，发现和总结极端环境下超声电机性能变化规律；在极端环境下测试不同类型压电陶瓷和摩擦材料性能，不同定子和动子材料以及粘接剂对超声电机性能的影响；通过对超声电机结构优化，各种零部件材料的优选，定子/动子摩擦副的优化，保证超声电机在极端环境下具有适用的性能；研制出适合极端环境下使用的驱动电源；最后研制出极端型超声电机样机。从中总结、提炼出一套研制极端型超声电机设计理论和方法,为我国航天工程和半导体制造业等领域提供新型
结论摘要：
英文主题词ltrasonic motor;extreme environment; piezoelectric ceramics; frictional materials
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