微透镜阵列器件可广泛应用于光通信、光成像、光存储、光显示、光处理等领域。课题目标是研制一种自主创新的微流控光学变焦透镜阵列器件。研究内容包括微流控光学变焦透镜阵列器件的参数设计、制作工艺、性能检测、机理分析及初步应用。项目的特色是将微流控技术与光信息技术相结合,制作电控调谐液体光学变焦透镜阵列器件。项目解决的关键技术是液体透镜阵列内芯芯片的制作,绝缘介质层的涂覆,液体的灌注与器件的封装。项目按照预定的计划完成了任务书确定的研究目标(一)研制成功了直径分别为1mm、4mm、8mm和12mm的电控液体单变焦透镜器件;(二)研制成功了37孔金属内芯、91孔金属内芯、91孔导电硅橡胶内芯的电控液体变焦透镜阵列器件;(三)基于介质上电润湿效应(EWOD)的液体变焦透镜机理研究取得进展;(四)新型可控流体介质-离子液体的输运机理和电润湿特性研究取得进展;(五)扩展了微流控光学技术在光开关、光衰减器和光学检测等方面的应用技术研究。 发表学术论文42篇(SCI检索11篇,EI检索22篇),申请发明专利29项(已获授权11项),培养研究生9名,超额完成了预期计划。
英文主题词optofluidics; lens array; variable-focus liquid lens; electro-wetting effect; ionic liquids