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耐高温压力传感器设计、制备技术
  • 颁奖组织:西安交通大学
  • 类别:西安交通大学,2006,国家技术发明奖,二等
  • 级别:二等奖
  • 所属机构名称:西安交通大学
  • 成果类型:获奖
  • 相关项目:基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
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