位置：立项数据库 > 立项详情页
基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
  • 项目名称：基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：50475085
  • 申请代码：E051201
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2005-01-01-2007-12-31
  • 项目负责人：赵玉龙
  • 负责人职称：教授
  • 依托单位：西安交通大学
  • 批准年度：2004
中文摘要：

本项目应用微机械电子MEMS技术和方法，研究基于SOI技术的多传感器芯片集成技术。依据压阻效应的高测量灵敏度和SOI材料的抗辐射、高稳定性及易集成的特征，开展压力传感器、加速度计和温度传感器集成研究工作。解决多传感器集成中微型化、多参量之间的相互干扰以及工艺兼容问题。其研究目标在5mmX5mmX0.5mm的芯片上集成上述三种传感器，主要研究多传感器集成中结构参数和制造中共性问题。研究具有较高测量灵

中文主题词： 多传感器；集成；芯片；SOI；MEMS
英文摘要：

multi-sensor；monolithic；chip；S

英文主题词： multi-sensor；monolithic；chip；S
结论摘要：

本项目应用微机械电子MEMS技术和方法，研究基于SOI技术的多传感器芯片集成技术。依据压阻效应的高测量灵敏度和SOI材料的抗辐射、高稳定性及易集成的特征，开展压力传感器、加速度计和温度传感器集成研究工作。解决多传感器集成中微型化、多参量之间的相互干扰以及工艺兼容问题。已实现在4mmX6mmX0.4mm的芯片上集成上述三种传感器，主要内容涉及研究多传感器集成中结构参数和制造中共性问题。研究具有较高测量灵敏度和稳定性的多传感器集成芯片及相关理论问题，满足航空航天、军事工业、汽车安全检测领域等日益增长的迫切需求。

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 18
  • 8
  • 0
  • 8
  • 0
期刊论文
负载刚度对电热微执行器输出的影
特种压阻式加速度传感器研制
一种压阻式三轴加速度传感器的设
一种集成三轴加速度、压力、温度
微机械轮式陀螺仪的结构分析
柔性机构尺寸与形状优化新方法及
MEMS微型柔性力－位移传动机构设
集成传感器芯片的封装应力分析
一种集成式多参数硅微传感器
基于SOI技术梁膜结合高过载压阻
基于SOI的集成硅微传感器芯片的
High temperature and frequency
新型非硅薄膜网格压力传感器的研究
一种硅微多传感器集成研究
MEMS耐高温压力传感器封装工艺研究
MEMS微型柔性力—位移传动机构设计
磁致伸缩液位传感器的电路设计及性能分析
基于SOI的集成硅微传感器芯片的制作
会议论文
A High G Accelerometer Based O
Hybrid?packaging?of?a?monolith
A Monolithic multi-sensor for
Analysis of the packaging stre
Design and fabrication of a pi
A micromachined integrated sen
一种多参数集成式传感器中的温度
Design and Fabrication of High
获奖
耐高温压力传感器设计、制备技术
棉条检测硅微传感器的研制及其应
耐高温压力传感器设计、制备技术
SOI（梁膜结合）耐高温压力传感
耐高温压力传感器设计、制备技术
棉条检测硅微传感器的研制及其应
耐高温压力传感器设计、制备技术
SOI（梁膜结合）耐高温压力传感
相关项目
在线式MEMS微波功率传感器设计理论与实现方法的研究
期刊论文 28 会议论文 4 专利 10
源阱特性与提纯互动耦合的氢系统集成
期刊论文 11 会议论文 5
基于MEMS的磁阿基米德反磁势阱钳生物微操纵与芯片
期刊论文 7 会议论文 2 专利 4
T型触点射频MEMS开关的制备及其形变的光学干涉法研究
期刊论文 8 会议论文 1
SOI埋氧层应力对高灵敏微悬臂梁制作的影响机理研究
期刊论文 5
基于碳纳米管的阵列式气体传感器研究
期刊论文 10 会议论文 4
硅微三维微力传感器研究
期刊论文 9 会议论文 4
水沙数学模型与地理信息系统集成关键技术研究
期刊论文 5
空间能力的分子遗传学研究
期刊论文 4
赵玉龙的项目
　微纳传感与测试技术
期刊论文 9
微/纳机械传感与控制
期刊论文 1
基于3D打印的复合结构微纳传感器基础理论与关键技术研究
　微纳传感与测试技术
用于自主式传感器的微型碰撞振荡器研究
智能高速机床MEMS高频加速度传感器研究
期刊论文 1
硅微三维微力传感器研究
期刊论文 9 会议论文 4