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SOI（梁膜结合）耐高温压力传感
  • 颁奖组织：西安交通大学
  • 类别：西安交通大学，2005，西安市科技进步奖，一等
  • 级别：一等奖
  • 所属机构名称：西安交通大学
  • 成果类型：获奖
  • 相关项目：基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
作者： 蒋庄德，赵玉龙，赵立波
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