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耐高温压力传感器设计、制备技术
颁奖组织:西安交通大学
类别:西安交通大学,2006,国家技术发明奖,二等
级别:二等奖
所属机构名称:西安交通大学
成果类型:获奖
相关项目:基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
作者:
蒋庄德,赵玉龙,赵立波,高建忠
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